보정 기능 소개 ③ 표준 에칭 / 왜곡

◆ 보정 기능 : 에칭 보정 (오프셋 보정)
⇒ 지정 베타 패턴을 간격 값을 고려하여 보정량으로 일괄 보강합니다.

◆ 보정 기능 : 왜곡 보정
⇒ 격자 측정 파라미터로 지정된 영역의 패턴을 좌표 보정합니다.


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